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浅谈静电对洁净车间的种种危害
发布时间:2019-05-15   浏览次数:50

文章摘要:静电对于我们来说也许是意见小事,就一瞬间的事情,但是静电对于洁净车间来说却是关乎产品合格率的事情。我们一起来了解一下静电对洁净车间的危害。
   静电对于我们来说也许是意见小事,就一瞬间的事情,但是静电对于洁净车间来说却是关乎产品合格率的事情。我们一起来了解一下静电对洁净车间的危害。
洁净车间

  1、静电库仑力

  在静电库仑力的作用下,吸附的洁净车间粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径>100μm,铝线宽度约100μm,氧化膜厚度在50μm时,最易使产品报废。现在线径更细,氧化膜很薄,粒径很小的尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在洁净车间腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

  2、静电放电ESD

  (1)元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向洁净车间瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都会遭受损坏。

  (2)造成洁净车间噪声、发射电磁波干扰

  ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起洁净车间设备死机。

  (3)电击人体

  半导体,平面显示器,光电子等洁净车间,尽管做了很多工作,但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量,影响着制造成本和效益,影响产品的质量和可靠性。据国外工业专家估计,美国每年由于静电造成产品的损失平均在8-33%,还有人估计美国每年静电对电子工业毁损价值达100亿美元;日本80年代曾对报废的电子产品进行分析,由ESD引起的损失占1/3。我国半导体、平面液晶显示、光电子等都起步较晚,但静电危害也时有发生,成品率较低。


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